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PhD - Dépôt sélectif localisé d'oxydes pour la microélectronique
SL-DRT-21-0781
DOMAINE DE RECHERCHE
Matériaux et procédés émergents pour les nanotechnologies et la microélectronique
RÉSUMÉ DU SUJET
Dans le but de réduire les coûts de fabrication des circuits intégrés et de poursuivre leur miniaturisation, des...